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一、说明
1111压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度,这已经是个 common sense ,在 209 的旧版本中,正压有建议值,但是后来就取消了。目前常见的正压值约是 10 到 25 Pascal 之间。压力测量的时机,应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量,尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对,要立刻调整以免影响洁净度。测量时,所有门窗都必须关上,所有的风扇也必须维持正常运转。
二、测试仪器
111 压力测量可使用倾斜管压力计,指针式压力计,或是电子式压力计,总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的 ±5% ,测量范围式压力设计值而定,一般 0~5mm Aq ( 0–50 Pascal )即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用,检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。  
三、测试步骤
111 1. 必须在风速、风量、气流等测试完成后,才能测试压力,并且排气与 MAU 要完全正常运转。
111 2. 全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。
111 3. 测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差,再测量房间与 Gowning room 之间压差,最后测量 Gowning room 与外部之压差。
111 4. 建议压差值为 5~12Pa ,并无强制规定。
111 5. 记录所有数值。
 
 

 
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