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一、测试目的
1111气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
1111单一流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。
二、 使用仪器
1111无尘室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网,其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内,因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同,通常不在无尘室内使用。热线式风速计( Hot Wire )虽然高频响应良好,但是低速时 〈 0.5m/s 以下 〉 准确性很低,因此不很适用,一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题,也不适用低速。 检验仪器须经校正合格,且仍在有效期限内。
三、 测试步骤
111 (1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。 (2) 取样点位于滤网下方 75-150mm 处。 (3) 每一个滤网下,若是使用单点式风速计,则每 1 平方英尺取一点;若是使用多点式风速计,则每 4 平方英尺取一点。 (4) 每测量点必须取 5 秒的平均。 (5) 依验收标准分析所有风速,计算平均值、标准差、相对标准差,并标明不合格测试点。 (6) 记录所有原始数值,以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时,特别注意取样时风速计不可受到干扰,以免影响准确度。
四、数据分析
1111风速测量很简单,但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表,其计算步骤如下。
11111. 平均值:2. 标准差 
 

 
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