一、测前准备 11 11.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成 111 2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。 111 3.洁净室环境需清洁完成 二、测试目的 1111此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。 三、测试仪器 1111专业照度仪 四、测试步骤 11111.无尘室光源至少使用100小时以上,测试前需点亮2小时以上。 11112.确认测试点及配置图编号。 11113.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度,待数值稳定后量测10秒记录。