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11 技术支持

洁净室高校过滤器检漏方法

洁净室高校过滤器的检漏目前有2种主要方法:1. 尘埃粒子计数器法 2. 光度计法(DOP检测)

一、说明
111 过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认: 1. 滤网的材料无破损, 2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。测试方式有: 1. 气胶光度计测试法, 2. 微粒计数器测试法, 3. 全效率测试法, 4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
二、方法
1111. 气溶胶光度计测试法
111气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计( Aerosol Photometer )是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。
1112. 微粒计数器测试法
111半导体业方面,早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果,发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化,导入滤网上游即可

 

 
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